表面電阻測試儀測量半導體的電阻率
一,測試原理:
當四根金屬探針排成一bai條直線,并以一定壓力壓在半導體材料上時,在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示).
根據(jù)公式可計算出材料的電阻率:
其中,C為四探針的探針系數(shù)(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.

表面電阻測試儀儀器操作:
(一)測試前的準備:
1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開關置于斷開位置;

2,工作方式開關置于"短路"位置,電流開關處于彈出位置;

3,將手動測試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;

4,對測試樣品進行一定的處理(如噴沙,清潔等);

5,調節(jié)室內溫度及濕度使之達到測試要求.
(二)測試:
首先將電源開關置于開啟位置,測量選擇開關置于"短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預熱半小時.
1,放好樣品,壓下探頭,將測量選擇開關置于"測量"位置,極性開關置于開關上方;

2,壓下探頭時,壓力要適中,以免損壞探針;

3,由于樣品表面電阻可能分布不均,測量時應對一個樣品多測幾個點,然后取平均值;

4,樣品的實際電阻率還與其厚度有關,還需查附錄中的厚度修正系數(shù),進行修正.
1. 在測容性負載阻值時，絕緣電阻測試儀輸出短路電流大小與測量數(shù)據(jù)有什么關系，為什么?
絕緣電阻測試儀輸出短路電流的大小可反映出該兆歐表內部輸出高壓源內阻的大小。當被測試品存在電容量時，在測試過程的開始階段，絕緣電阻測試儀內的高壓源要通過其內阻向該電容充電，并逐步將電壓充到絕緣電阻測試儀的輸出額定高壓值。顯然，如果試品的電容量值很大，或高壓源內阻很大，這一充電過程的耗時就會加長。其長度可由R內和C負載的乘積決定（單位為秒）。請注意，給電容充電的電流與被測試品絕緣電阻上流過的電流，在測試中是一起流入絕緣電阻測試儀內的。絕緣電阻測試儀測得的電流不僅有絕緣電阻上的分量，也加入了電容充電電流分量，這時測得的阻值將偏小。